超快激光微納加工中心的技術(shù)與應(yīng)用

超快激光微納加工中心不僅擁有納米級3D加工能力，還配備了雙波長飛秒激光輸出，可加工更廣泛的材料。可對玻璃、光纖、晶體內(nèi)部和表面進(jìn)行改性或刻蝕，也可對金屬、合金、陶瓷等硬質(zhì)材料進(jìn)行微米級精度的處理，包括打孔、表面結(jié)構(gòu)處理、選擇性激光消融、改性等多種功能。

MJ-Works同樣擁有高精度、超高速度的特點，并且可進(jìn)行大幅面加工、全自動操控、長時穩(wěn)定性、簡單直觀的軟件操作以及適配多種材料的特點，適用于微納光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、光通信等行業(yè)的微納加工領(lǐng)域。

主要特點：

雙波長飛秒激光系統(tǒng)，適配多種加工材料，實現(xiàn)增減材加工。

高能飛秒激光脈沖，材料表面減材或內(nèi)部改性+復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)。

光學(xué)自穩(wěn)定，加工面自動平整，自動聚焦和自動跟蹤功能。

光斑調(diào)制功能，預(yù)留多種光斑模式。

線寬≤100nm，表面粗糙度≤10nm。

可配備自研的超高速加工模塊。

大幅面、大體積加工。

激光能量穩(wěn)定系統(tǒng)。

高精度恒溫控制系統(tǒng)。

多焦點模式，提高加工效率。

納米級高精度位置識別與對準(zhǔn)。